Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

Алексей Евгеньевич Иешкин, Александр Борисович Толстогузов, Николай Геннадьевич Коробейщиков, В.О. Пеленович, В.С. Черныш

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.
Original languageRussian
Article number2
Pages (from-to)722-753
Number of pages31
JournalУспехи физических наук
Volume192
Issue number7
DOIs
Publication statusPublished - 1 Jul 2022

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

Cite this