Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния

А.Б. Толстогузов, М.Н. Дроздов, Алексей Евгеньевич Иешкин , А.А Татаринцев , Андрей Валерьевич Мяконьких, С.Ф. Белых, Николай Геннадьевич Коробейщиков, В.О. Пеленович, Д. Фу

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Abstract

Проведено изучение размерного эффекта, приводящего к увеличению эмиссии многоатомных кластерных ионов из наноструктур кремния по сравнению с макроскопическим образцом. Впервые для этих целей были использованы периодические структуры с шириной гребней 10 и 50 нм, изготовленные методом электронно-лучевой литографии с последующим плазмохимическим травлением. Показано, что для структур с эффективной шириной гребня, соизмеримой с величиной среднего проективного пробега бомбардирующего иона висмута в кремнии, выход многоатомных кластерных ионов значительно превосходит аналогичный показатель для макроскопических образцов, например, для 28Si-10 (280m/z) более, чем в 5 раз. Этот эффект объяснен частичным ограничением каналов диссипации энергии, выделяемой бомбардирующим ионом в объеме структуры, что стимулирует более эффективное развитие каскадов нелинейных столкновений в таком объеме и в итоге активизирует выход многоатомных кластерных ионов.
Original languageRussian
Article number20
Pages (from-to)531-535
Number of pages5
JournalПисьма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
Volume111
Issue number7-8 (4)
DOIs
Publication statusPublished - 11 Mar 2020

OECD FOS+WOS

  • 1.03 PHYSICAL SCIENCES AND ASTRONOMY

State classification of scientific and technological information

  • 29 PHYSICS

Cite this