Влияние обработки кластерными ионами аргона на морфологию поверхности нитрида алюминия: Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2021. Т.1: Труды XXV международной конференции

Research output: Contribution to conferencePaperpeer-review

Original languageRussian
Pages68-70
Number of pages3
Publication statusPublished - 23 Aug 2021

Cite this