Зарвин, А. Е.,
Дубровин, К. А.,
Художитков, В. Э.,
Каляда, В. В. &
Яскин, А. С.,
2019,
Труды 26-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. : Вакуумная техника и технологии – 2019. Кострин, Д. К. & Марцынюков, С. А. (eds.).
3 ed. Санкт-Петербург:
СПбГЭТУ "ЛЭТИ",
Vol. 29.
p. 28-31 4 p. (ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИЯ).
Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Article in an anthology › peer-review